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湿电子化学品:以纯度立足的半导体产业核心产品

发布日期:2023-04-27

湿电子化学品是欧美及我国台湾地区的称呼(更为普遍),国际上又称工艺化学品,我国习惯称其为超净高纯试剂,其是超大规模集成电路、平板显示、太阳能电池等制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一。其主体成分纯度大于 99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂,是重要的晶圆制造材料之一,2020 年市场规模占比 4%。主要以上游硫酸、盐酸、氢氟酸、氨水、氢氧化钠、氢氧化钾、丙酮、乙醇、异丙醇等为原料,经过预处理、过滤、提纯等工艺生产得到的高纯度产品。下游应用主要为光伏太阳能电池、平板显示和半导体三大领域,主要应用在集成电路制造的清晰、蚀刻、掺杂、显影、晶圆表面处理、去膜、去光刻胶等工序中。

 按照用途主要可以将湿电子化学品分为通用化学品和功能性化学品两类。其中通用化学品以高纯溶剂为主,例如过氧化氢、氢氟酸、硫酸、磷酸、盐酸、硝酸等;功能性化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的配方类或复配类化学品,主要包括显影液、剥离液、清洗液、蚀刻液等。由于多数功能湿化学品是复配的化学品,是混合物,它的理化指标很难通过普通仪器定量检测,只能通过应用手段来评价其有效性,近几年来功能湿化学品的需求比例明显增加。简单的理解就是复配产品,功能湿电子化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的复配类化学品,包括蚀刻液、清洗液、光刻配套试剂等,常用于半导体刻蚀、清洗等工艺中。

 常用的湿电子化学品以通用化学品为主,占比达到 88%,其中过氧化氢、氢氟酸和硫酸需求占比排名前三,占比分别达到 16.7%、16%和 15.3%;功能性化学品中主要为显影液和 MEA 等极性溶液,占比达到了 4.3%和 3.2%。

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